三協(xié)半導(dǎo)體晶圓機(jī)器人SR8232-0002AAQ

 

       這幾天，修了一臺(tái)用于半導(dǎo)體晶圓上下料的Sankyo三協(xié)機(jī)器人本體SR8232-0002AAQ，以及控制柜SC3100。

 

Sankyo三協(xié)半導(dǎo)體晶圓機(jī)器人SR8232-0002AAQ

 

Sankyo三協(xié)半導(dǎo)體晶圓機(jī)器人SR8232-0002AAQ

 

Sankyo三協(xié)半導(dǎo)體晶圓機(jī)器人SR8232-0002AAQ

 

       半導(dǎo)體AMHS系統(tǒng)的三大核心設(shè)備：線邊密集庫（Stocker）、高速塔式提升機(jī)（Tower）、天車搬運(yùn)系統(tǒng)（OHT），前開式晶圓傳送盒（FOUP）的高效平穩(wěn)運(yùn)輸過程，可幫助半導(dǎo)體晶圓廠實(shí)現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)條件下的高效、安全、無塵的全自動(dòng)搬運(yùn)和倉(cāng)儲(chǔ)。機(jī)械手是半導(dǎo)體設(shè)備的重要零部件之一，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造的前段工序，用于搬送、運(yùn)輸及定位晶圓。主要分為大氣機(jī)械手和真空機(jī)械手，其中大氣機(jī)械手市場(chǎng)占比超過60%。