安川潔凈機(jī)器人NX100/ECS1200DN-L

重量：700kg

有效載荷：30kg

ECS1200DN-1600

YR-ECS200N-B42

NX100/ECS1200DN-L

ERCR-ECS1200DNL-AA10

SERIAL NO.S16B81-1-1

S16B79-2-M

S16B79-1-1

安川MOTOMAN FPD潔凈室玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人可全面對(duì)應(yīng)各代玻璃基板尺寸的高速、高精度、高度柔性動(dòng)作的需求，大幅度削減配套設(shè)備費(fèi)用。

安川MOTOMAN FPD潔凈室玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人主要分為兩大系列，既CSL系列和CR系列。CR系列是垂直多關(guān)節(jié)機(jī)器人，進(jìn)行全姿態(tài)動(dòng)作運(yùn)動(dòng)，CSL系列是水平直線(xiàn)及回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)型機(jī)器人，高精度高速度。液晶生產(chǎn)線(xiàn)上往往需要同時(shí)用到這兩個(gè)系列機(jī)器人。

安川MOTOMAN FPD潔凈室玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人也分為大氣環(huán)境使用機(jī)器人和真空環(huán)境使用機(jī)器人，大氣環(huán)境使用的如MCL165、MFL2200D、MFS2500D，真空環(huán)境使用如VD10S、VD20D、VD35D、VD40D、VD95D。